Pembersih gas untuk menghilangkan kelembapan dan digunakan untuk fabrikasi semikonduktor
Cocok untuk semikonduktor elektronik, sirkuit terpadu skala besar, MAMS, silikon monokristalin, silikon polikristalin dan silikon epitaksi, LED, TFT, galium nitrida, silikon karbida, penelitian dan pengembangan ilmiah, analisis eksperimental, dll.
Karakteristik
● Cocok untuk nitrogen, hidrogen, oksigen, argon, helium, dan amonia. Kadar gas mentah tidak kurang dari 99,999%. ● Penghapusan mendalam pengotor O2, H2O, CO, CO2, H2, N2, CH2 dan NMHC hingga 1ppB / 10ppB. ● Regenerasi adsorpsi alternatif menara ganda, katalisis menara tunggal, adsorpsi Getter terminal, operasi kontinu otomatis. ● Sambungan pipa baja tahan karat poles kelas EP 316L. ● Dengan filter 0,003 m, tingkat penghilangan dapat mencapai 99,999999%/99,99999%. ● PLC Siemens dapat dihubungkan ke sistem DCS. ● Fungsi alarm keamanannya sempurna. ● Layanan cloud jarak jauh tersedia. ● Produksi dan perakitan di lingkungan yang sangat bersih. ● Kapasitas gas 10-20000nm3/jam. |  |
