
Sistem Pemurnian Nitrogen Kemurnian Tinggi untuk Aplikasi Semikonduktor
Perangkat pemurnian nitrogen jenis penambahan karbon dan deoksidasi selanjutnya memproses 99,9% nitrogen yang diekstraksi dari mekanisme pembangkitan nitrogen, menyebabkan 0,1% oksigen dalam nitrogen bereaksi secara kimia dengan deoksidasiator karbon untuk menghasilkan karbon dioksida, dan selanjutnya menghilangkan karbon dioksida dan uap air dari nitrogen, memurnikan nitrogen hingga lebih dari 99,999%, meningkatkan kualitas gas produk, untuk beradaptasi dengan industri dengan persyaratan khusus untuk kemurnian dan kualitas gas.
Ruang lingkup aplikasi
Cocok untuk pengguna nitrogen dengan kemurnian tinggi, terutama untuk bahan magnetik, industri elektronik, dan proses lain yang memiliki persyaratan ketat pada oksigen dan hidrogen.
Parameter Teknis
Model | (Nm³/jam) | DN(mm) Saluran Masuk/Keluar Diameter | (kg) Berat karbon penghilang oksidator | Pendinginan air (th) | Daya terapan(kw) | Area peralatan ukuran(mm) | (HBTDC)Berat molekul 13 X saringan(kg) | |||
LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | |||||
LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0.2 | 9 | 12 | Ukuran 2000*1350*2300 | Ukuran 2500*1350*2300 | 75 |
LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22.5 | Ukuran 2200*1550*2600 | Ukuran 2700*1550*2600 | 100 |
LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0.8 | 24 | 30 | Ukuran 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | Ukuran 2650*1700*3350 | Ukuran 3150*1700*3350 | 230 |
HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1.5 | 39 | 48 | Ukuran 3050*1700*3000 | Ukuran 3550*1700*3000 | 230 |
HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | Ukuran 3250*1800*3100 | Ukuran 3750*1800*3100 | 260 |
HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | Ukuran 3250*2100*3200 | Ukuran 3750*2100*3200 | 260 |
HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | Ukuran 3400*2100*3700 | Ukuran 3900*2100*3700 | 260 |
LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | tahun 1440 | 4.4 | 75 | 90 | Ukuran 3800*2950*3800 | Ukuran 4300*2950*3800 | 380 |
HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | Ukuran 5350*2950*4000 | Ukuran 5850*2950*4000 | 380 |
Catatan: Data di atas berdasarkan pasokan udara 0,8Mpa(G), suhu sekitar 20℃, elevasi 0 m dan kelembapan relatif 80% sebagai dasar desain. Catatan 2: Daya dihitung berdasarkan laju aliran. Daya dalam tabel ditentukan berdasarkan laju aliran pada kemurnian 39%. |